LES PROPRIETES STRUCTURALES, OPTIQUES ET ELECTRIQUES DES COUCHES MINCES DE ZnO: AL ELABOREES PAR SPRAY PNEUMATIQUE

Résumé

Les couches de ZnO ont été déposées par la technique spray pyrolyse basée sur la pulvérisation pneumatique sur des substrats en verre chauffés à la température fixe 400 °C, en utilisant le chlorure de zinc avec une molarité de 0.1 mol/l. Notre intérêt porte sur l’étude de l’influence du dopage sur les propriétés structurales, optiques et électriques de ces couches. Pour cela, nous avons utilisé la diffraction des rayons X pour les caractérisations structurales, la spectroscopie de transmission optique UV Visible pour les caractérisations optiques et la technique de quatre  pointes pour les caractéristiques électriques de nos films. L’analyse structurale a montré que les films déposés ont une orientation préférentielle selon la direction (002). Les spectres de transmission UV Visible confirment qu’il est possible d’obtenir de bons films transparents de ZnO avec une transmittance de l’ordre de 70 % pour chaque film dans le visible. La caractérisation électrique, réalisée à l'aide de la technique de quatre pointes, a donné une conductivité électrique maximale de 45.35 (Ωcm)-1 pour le film dopé à 3 % Al.